Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
МЕТОДЫ ОЦЕНКИ КАЧЕСТВА ФОТОШАБЛОНОВ С РАЗЛИЧНЫМИ МАСКИРУЮЩИМИ ПОКРЫТИЯМИ
тезисы доклада
Авторы:
Дашкевич Л.Л.
,
Кондрашов П.Е.
,
Мироненко Л.С.
Сборник:
Тезисы докладов всесоюзной конференции "Информационно-измерительные системы и точность в приборостроении"
Тезисы
Год издания:
1984
Место издания:
Москва
Первая страница:
98
Аннотация:
Рассмотрены вопросы оценки изностойкости полимерных покрытий, используемых для защиты поверхности фотошаблонов
Добавил в систему:
Кондрашов Павел Евгеньевич