|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
МАКРОКИНЕТИКА РАДИАЦИОННО-ХИМИЧЕСКИХ ПРЕВРАЩЕНИЙ ФОТО- И ЭЛЕКТРОНОРЕЗИСТОВ ПРИ ОБЛУЧЕНИИ УСКОРЕННЫМИ ИОНАМИ СРЕДНИХ ЭНЕРГИЙ.В кн.: Москва. Изд. МИЭМ, С.128тезисы доклада
- Авторы: Григорьев Ф.И., Кондрашов П.Е.
- Сборник: Материалы и приборы электронной техники. Межвузовский сборник
- Тезисы
- Год издания: 1986
- Место издания: МИЭМ
- Первая страница: 128
- Аннотация: Рассмотрены динамика физико-химических процессов в пленках фото- и электронорезистов при их облучении ионами различных энергий и сделан вывод о формировании в объеме пленок алмазоподобной фазы углерода
- Добавил в систему: Кондрашов Павел Евгеньевич