|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СЛОИ BCXNY: СИНТЕЗ РАЗЛОЖЕНИЕМ ПАРОВ БОРОРГАНИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ, СОСТАВ И ХИМИЧЕСКОЕ СТРОЕНИЕстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: СУЛЯЕВА В.С., КЕСЛЕР В.Г., КОСИНОВА М.Л.
- Журнал: Журнал структурной химии
- Том: 62
- Номер: 10
- Год издания: 2021
- Издательство: Изд-во СО РАН
- Местоположение издательства: Новосибирск
- Первая страница: 1736
- Последняя страница: 1753
- DOI: 10.26902/jsc_id87084
- Аннотация: Представлены результаты исследования состава, химического строения и диэлектрических характеристик пленок карбонитрида бора BC x N y , полученных методом химического осаждения из газовой фазы при термической и плазменной активации исходной газовой смеси. Методами электронной Оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии установлена зависимость элементного состава, диэлектрической постоянной, удельного сопротивления пленок от условий синтеза (типа исходного борорганического соединения, температуры синтеза, типа и содержания дополнительного газа). Получены пленки с диэлектрической проницаемостью 3.7-6.3 и удельным сопротивлением 1012-1015 W×см. Впервые проведено исследование стабильности диэлектрических свойств пленок BC x N y при их хранении в атмосфере воздуха.
- Добавил в систему: Щукин Александр Евгеньевич