|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
ВЛИЯНИЕ ИОННО-ЛУЧЕВЫХ ВОЗДЕЙСТВИЙ НА ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ ТОНКИХ УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК НА ИЗОЛИРУЮЩИХ ПОДЛОЖКАХстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: КАРТАПОВА ТАТЬЯНА СЕРГЕЕВНА1, ГИЛЬМУТДИНОВ ФААТ ЗАЛАЛУТДИНОВИЧ1, ЕРЕМИНА МАРИНА АНАТОЛЬЕВНА1, КОЛОТОВ АНДРЕЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ1
- Журнал: Химическая физика и мезоскопия
- Том: 24
- Номер: 1
- Год издания: 2022
- Издательство: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки "Удмуртский федеральный исследовательский центр Уральского отделения Российской академии наук"
- Местоположение издательства: Ижевск
- Первая страница: 5
- Последняя страница: 17
- Номер статьи: 1
- Аннотация: Получены тонкие углеродные пленки на поверхности предметного стекла магнетронным распылением углеродной мишени в среде рабочего газа Ar с последующей бомбардировкой ионами азота и аргона с вариацией дозы облучения. Поверхностно чувствительными методами рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и спектроскопии комбинационного рассеяния света изучены их химический состав и особенности атомной структуры. Методом атомно-силовой микроскопии оценены толщины и топографии полученных покрытий. Измерено электросопротивление углеродных пленок. Показано, что ионно-лучевая обработка может быть направленно использована для формирования углеродных пленок и покрытий с заданными электропроводящими свойствами.
- Добавил в систему: Картапова Татьяна Сергеевна
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|