Аннотация:Работа посвящена формированию поверхностных структур на монокристаллах ниобата лития. Проведено исследование топографии его поверхности после распыления пучком газовых кластерных ионов. Закономерности возникновения на поверхности волнообразного рельефа (рипплов) проанализированы с использованием подхода, основанного на функции спектральной плотности мощности; обсуждается эволюция рипплов с увеличением флюенса облучения, а также влияние энергии кластерных ионов. Показано, что величина коэффициента распыления уменьшается с ростом шероховатости поверхности, указаны возможные причины этого явления. Проведено сравнение локального пьезоотклика исходной поверхности и поверхности с развитой топографией.