|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Электрофизические параметры и состав плазмы в смесях HCl-H2 // Микроэлектроника. 2011. №6. С. 405-412статья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКСтатья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
- Авторы: Ефремов А.М., Юдина А.В., Светцов В.И.
- Журнал: Микроэлектроника
- Том: 40
- Номер: 6
- Год издания: 2011
- Издательство: Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 405
- Последняя страница: 412
- Аннотация: Проведено исследование влияния начального состава смеси HCl—H2 на стационарные параметры и состав плазмы тлеющего разряда постоянного тока (p = 40—200 Па, ip = 15—35 мА). Получены расчетные данные по энергетическим распределениям электронов, интегральным характеристикам электронного газа и составу плазмы. Показано, что разбавление HCl водородом не сопровождается заметным изменением как эффективности процессов при электронном ударе, так и интенсивности ионной бомбардировки поверхности, контактирующей с плазмой.
- Добавил в систему: Юдина Алёна Владимировна