|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Possibilities of metrological systems of atomic force microscopy for research, development and control of parameters of micro and nanoelectronic productsстатья
- Авторы: Bykov V.A., Bykov A.V., Bobrov Y.A., Kotov V.V., Leesment S.I., Polyakov V.V.
- Журнал: Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем МЭС
- Год издания: 2020
- Издательство: Институт проблем проектирования в микроэлектронике РАН
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 187
- Последняя страница: 192
- DOI: 10.31114/2078-7707-2020-4-187-192
- Добавил в систему: Никишин Игорь Игоревич