|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Определение толщин и глубин залегания подповерхностных наноструктур с помощью сканирующего электронного микроскопастатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Рау Э.И., Зайцев С.В., Караулов В.Ю.
- Журнал: Письма в "Журнал технической физики"
- Том: 48
- Номер: 23
- Год издания: 2022
- Издательство: Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 22
- Последняя страница: 25
- Номер статьи: DOI: 10.21883/PJTF.2022.23.53947.19361
- DOI: 10.21883/PJTF.2022.23.53947.19361
- Аннотация: Выведены расчетные соотношения сигнала обратнорассеянных электронов для многослойных нанострук-тур в зависимости от энергии зондирующих электронов и состава многокомпонентных образцов. По экспери-ментально измеренным сигналам и расчетным соотношениям определены не только толщины, но и впервыеглубины залегания локальных микронеоднородностей трехмерных наноструктур. Исследования проведенынеразрушающим методом детектирования обратнорассеянных электронов в сканирующем электронноммикроскопе.
- Добавил в систему: Рау Эдуард Иванович