|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Двухфотонная лазерная печать функциональных микроструктур интегральной фотоники: волноводов, микрорезонаторов и призменных адаптеров ввода/вывода оптического излучениястатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКСтатья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
- Авторы: Майдыковский А.И., Апостолов Д.А., Мамонов Е.А., Копылов Д.А., Дагесян С.А., Мурзина Т.В.
- Журнал: Письма в "Журнал экспериментальной и теоретической физики"
- Том: 117
- Номер: 1
- Год издания: 2023
- DOI: 10.31857/S123456782301004
- Аннотация: Разработка и оптимизация методов создания функциональных элементов микронных и суб-микронных размеров для фотонных интегральных схем является одной из основных задач на-нофотоники. В настоящее время активно развивается метод двухфотонной лазерной литогра-фии (ДФЛЛ), позволяющий формировать трехмерные структуры с субволновым разрешением.В данной работе продемонстрированы результаты по развитию этого метода и показано, чтоиспользование оптимизированных схем печати, пространственной фильтрации используемоголазерного излучения, введение в полимер лазерных красителей приводит как к формированиюоптически однородных и качественных объемных микрострутур с характерными особенностямивплоть до 300 нм, так и приданию им функциональных свойств. Возможности данного оптимизи-рованного метода ДФЛЛ продемонстрированы на примере кольцевых микрорезонаторов и рас-положенных над подложкой оптических волноводов с призменными адаптерами ввода/выводаизлучения. Оптические потери при заведении излучения в волновод на длине волны 405 нм спомощью напечатанного призменного адаптера составили не более 1.25 дБ.
- Добавил в систему: Майдыковский Антон Игоревич