|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Получение диэлектрических пленок при распылении многокомпонентных сплавовстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
- Авторы: Прохоров Ю.А., Ронами Г.Н., Самсонов Г.В., Шелякин Л.Б., Юрасова В.Е.
- Журнал: Электронная техника. Серия 3: Микроэлектроника
- Год издания: 1972
- Издательство: Акционерное общество "Научно-исследовательский институт молекулярной электроники"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 13
- Последняя страница: 15
- Добавил в систему: Юрасова Вера Евгеньевна