|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Свойства геттерных пленок, полученных ионно-ассистированным и магнетронным напылениемстатья
- Авторы: Вализаде Р., Вишняков В.М., Коллигон Д.С., Еловиков С.С., Зыкова Е.Ю., Юрасова В.Е., Бачурин В.И., Потапов Е.В.
- Сборник: Труды 17-ой Международной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью»
- Том: 2
- Год издания: 2005
- Место издания: Москва
- Первая страница: 141
- Последняя страница: 144
- Добавил в систему: Юрасова Вера Евгеньевна