Влияние частоты повторения импульсов ионного тока на характеристики и свойства углеродных пленок, полученных методом магнетронного напыления

Картапова, Т.С.; Гильмутдинов, Ф.З.; Еремина, М.А.; Колотов, А.А.; Михеев, К.Г.; Кобзиев, В.Ф.; Михеев, Г.М.

Авторы: Картапова Т.С., Гильмутдинов Ф.З., Еремина М.А., Колотов А.А., Михеев К.Г., Кобзиев В.Ф., Михеев Г.М.
Журнал: Химическая физика и мезоскопия
Том: 24
Номер: 4
Год издания: 2022
Издательство: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки "Удмуртский федеральный исследовательский центр Уральского отделения Российской академии наук"
Местоположение издательства: Ижевск
Первая страница: 473
Последняя страница: 486
DOI: 10.15350/17270529.2022.4.38
Аннотация: Тонкие углеродные пленки, полученные на поверхности пластин предметного стекла магнетронным распылением углеродной мишени в среде рабочего газа аргона, подвергнуты импульсному облучению ионами аргона с вариацией частоты следования импульсов ионного воздействия при фиксированных значениях энергии ионов 30 кэВ и дозы облучения D=1017 ион/см2. Показано, что удельное электросопротивление углеродных пленок немонотонно зависит от скорости набора дозы при имплантации ионов аргона. Методами спектроскопии комбинационного рассеяния света и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии проведена характеризация углеродных пленок, позволяющая объяснить наблюдаемые зависимости удельного электросопротивления от скорости набора дозы при имплантации ионов аргона.
Добавил в систему: Гильмутдинов Фаат Залалутдинович

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ИСТИНА ИНХС РАН
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

ИСТИНА ИНХС РАН

Влияние частоты повторения импульсов ионного тока на характеристики и свойства углеродных пленок, полученных методом магнетронного напылениястатья

Прикрепленные файлы