|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Cobalt subtractive etch for advanced interconnectsстатья
- Авторы: Rogozhin A., Miakonkikh A., Tatarintsev A., Amirov I., Rudenko K.
- Журнал: Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
- Номер: 12157
- Год издания: 2022
- Издательство: SPIE, the International Society for Optical Engineering
- Местоположение издательства: Bellingham, WA, United States
- Номер статьи: 1215718
- DOI: 10.1117/12.2624333
- Добавил в систему: Татаринцев Андрей Андреевич