Аннотация:С помощью методов рентгеновской дифракции, просвечивающей электронной микроскопии, атомно-силовой микроскопии анализа светопропускания исследованы структурные превращения в поверхностных слоях сапфира после воздействия ВЧ плазмы в смеси водород-азот. Показано, что длительное распыление сапфира с плоскостью базиса параллельной поверхности не меняет его светопропусканияю