A new approach to modeling evaporation kinetic of volatile coordination compounds used as MOCVD precursorsстатья
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 мая 2015 г.
-
Авторы:
Kuzmina N.,
Chemleva T.,
Isaeva E.,
Iljina E.,
Korsakov I.,
Chugarov N.,
Wahl G.
-
Сборник:
Chemical Vapour Deposition: Proceedings of the Fourteenth International Conference and EUROCVD-11, ed. by M.Allendorf, C.Bernard
-
Серия:
Electrochemical Society Proceedings Volume 97-25
-
Год издания:
1997
-
Место издания:
The Electrochemical Society, Inc Pennington, NJ, USA
-
Первая страница:
893
-
Последняя страница:
900
-
Добавил в систему:
Корсаков Игорь Евгеньевич