|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
On the peculiarities of processes under bombardment of two-component single-crystal solid by plasma ions. Sputtering and ion implantationстатья
- Автор: Samoylov V.N.
- Сборник: Proceedings of the 4th Annual International Conference on Plasma Chemistry and Technology, San Diego, California, U.S.A., 19–21 November 1987, Ed.: H.V. Boenig
- Год издания: 1989
- Место издания: Technomic Publishing Company, Inc Lancaster, Pennsylvania, U.S.A
- Первая страница: 117
- Последняя страница: 144
- Аннотация: Pages 28. Tables 1. Figures 25. Bibl. 61 references.
- Добавил в систему: Самойлов Владимир Николаевич