|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Реактивное ионно–плазменное травление и осаждениестатья
- Авторы: Берлин Е.В., Двинин С.А., Морозовский Н.А., Сейдман Л.А.
- Журнал: Электроника: наука, технология, бизнес
- Номер: 8
- Год издания: 2005
- Первая страница: 78
- Последняя страница: 80
- Добавил в систему: Двинин Сергей Александрович