|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Resonances and Electromagnetic Field Structure in CCP HF Discharge with Large Electrodesтезисы доклада
- Автор: Dvinin S.A.
- Сборник: Bulletin of the American Physical Society, 66th Annual Gaseous Electronics Conference
- Том: 58
- Тезисы
- Год издания: 2013
- Первая страница: 60
- Последняя страница: 61
- Добавил в систему: Двинин Сергей Александрович