Multilayer structures induced by plasma and laser beam treatments on a-Si : H and a-SiC : H thin filmsстатья

Статья опубликована в высокорейтинговом журнале

Информация о цитировании статьи получена из Web of Science, Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 18 июля 2013 г.

Прикрепленные файлы


Имя Описание Имя файла Размер Добавлен
1. Полный текст Thin_Solid_Films_383_2001_230-234.pdf 133,0 КБ 29 мая 2012 [maslakov]