|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Математическое моделирование индуктивного ВЧ разряда низкого давления с помощью программы KARATтезисы доклада
- Авторы: Александров А.Ф., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Тараканов В.П.
- Сборник: Тезисы докладов XL международной (Звенигородской) конференции по физике плазмы и УТС, г. Звенигород, 11-15 февраля 2013г
- Тезисы
- Год издания: 2013
- Место издания: ЗАО НТЦ "ПЛАЗМАИОФАН" Москва
- Первая страница: 254
- Последняя страница: 254
- Добавил в систему: Неклюдова Полина Алексеевна