|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Калибровочные решетки на основе самоорганизующихся структур пористого оксида алюминиястатья
- Авторы: Напольский К.С., Росляков И.В., Елисеев А.А., Лукашин А.В., Лебедев В.А., Иткис Д.М., Третьяков Ю.Д.
- Журнал: Международный научный журнал Альтернативная энергетика и экология
- Том: 79
- Номер: 11
- Год издания: 2009
- Издательство: Науч.-техн. центр ТАТА
- Местоположение издательства: Саров
- Первая страница: 86
- Последняя страница: 89
- Аннотация: В работе рассмотрена возможность использования пленок анодного оксида алюминия с высокоупорядоченной структурой пор в качестве калибровочных решеток c нанометровым периодом повторяемости для сканирующей электронной и зондовой микроскопии. Показано, что микроструктура поверхности анодного оксида алюминия позволяет использовать пленки с высокоупорядоченной структурой в качестве тест-объектов для экспресс-диагностики состояния зонда сканирующей зондовой микроскопии.In the present study we propose the use of anodic aluminum oxide (AAO) films as calibration gratings with a nanometer-sized period for scanning electron and scanning probe microscopy. We have illustrated that the microstructural features of AAO surface enables an express diagnostics of SPM tip shape and sharpness.
- Добавил в систему: Елисеев Андрей Анатольевич