|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Разработка программного комплекса для количественного анализа химического состава по Оже-электронным спектрамстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Хаметова Э.Ф., Бакиева О.Р.
- Журнал: Химическая физика и мезоскопия
- Том: 25
- Номер: 1
- Год издания: 2023
- Издательство: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки "Удмуртский федеральный исследовательский центр Уральского отделения Российской академии наук"
- Местоположение издательства: Ижевск
- Первая страница: 113
- Последняя страница: 119
- DOI: 10.15350/17270529.2023.1.12
- Аннотация: В настоящее время в области микроэлектроники активно применяется реверс-инжиниринг. Обычно для этого используют методы послойного анализа, которые позволяют определять не только дефекты производства, но и восстанавливать архитектуру микросхем. Одним из таких методов является Оже-электронная спектроскопия (ОЭС) с послойным ионным травлением. Данная работа посвященаразработке программного комплекса по обработке и анализу экспериментальных Оже-электронных спектров. В ходе работы была выявлена некоторая проблематика как в обнаружении сигнала в спектре (идентификация слабого сигнала), так и в принадлежности сигнала конкретному химическому элементу. На сегодняшний день разработанный программный комплекс проводит качественный и количественный анализ экспериментальных данных в полуавтоматическом режиме.
- Добавил в систему: Хаметова Элина Фанилевна
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|