|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Осаждение алмазных пленок в разряде постоянного тока на установке с замкнутым газовым контуромстатья
- Авторы: Кашко Д.А., Паль А.Ф., Рахимов А.Т., Серов А.О., Суетин Н.В., Филиппов А.В.
- Сборник: Тонкие пленки в электронике. Материалы 7-го межд. симпозиума
- Год издания: 1996
- Место издания: Москва-Йошкар-Ола
- Первая страница: 19
- Последняя страница: 32
- Добавил в систему: Серов Александр Олегович