Аннотация:В работе показано, что что метод магнетронного распыления хрома в реактивной атмосфере ацетилена и азота является перспективным для формирования гетерофазной структуры покрытий аморфного гидрогенизированного углерода а-С:Н:Cr, состоящей из наноструктурированных областей металлической фазы хрома и наноразмерных выделений фаз карбидов и нитрида хрома. Установленные структурно-фазовые параметры исследованных покрытий свидетельствуют о их возможных высоких функциональных характеристиках. Метод магнетронного распыления хрома в реактивной атмосфере ацетилена и азота позволяет управлять структурно-фазовыми характеристиками а-С:H:Сr покрытий путем изменения состава активной атмосферы при изготовлении покрытий.Показано, что метод парной функции радиального распределения атомов, рассчитанной из данных рентгендифракционного эксперимента, качественно подтверждает результаты проведенного фазового анализа и оценку среднего размера зерна в исследованных покрытиях.