ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ НАНОСТРУКТУР GE/SI ПРИ ИОННО-ЛУЧЕВОЙ КРИСТАЛЛИЗАЦИИстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК