|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
НИЗКОЧАСТОТНЫЙ НАНОМЕХАНИЧЕСКИЙ РЕЗОНАТОРтезисы доклада
- Авторы: Снигирев Глеб Олегович, Попов Андрей Алексеевич, Михайлов Павел Олегович, Дорофеев Александр Андреевич, Преснов Денис Евгеньевич, Снигирев Олег Васильевич, Крупенин Владимир Алексанрович
- Сборник: Материалы Международного молодежного научного форума «Ломоносов-2023»
- Редакторы: Алешковский Иван Андреевич, Андриянов Андрей Владимирович, Антипов Евгений Александрович, Зимакова Екатерина Игоревна
- Серия: География
- Тезисы
- Год издания: 2023
- Издательство: ООО "МАКС Пресс"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 649
- Последняя страница: 650
- Аннотация: НИЗКОЧАСТОТНЫЙ НАНОМЕХАНИЧЕСКИЙ РЕЗОНАТОРСнигирев Г.О, Попов А.А.1, Михайлов П.О., Дорофеев А.А., Преснов Д.Е., Снигирев О.В., Крупенин В.А.МГУ им. М.В. Ломоносова, Физический факультет, г. Москва, Россия2НИИЯФ им. Д.В. Скобельцына МГУ им. М.В. Ломоносова, г. Москва, РоссияE-mail: snigirev.go21@physics.msu.ruСовременные разработки в сфере нанотехнологий являются двигателями прогрессав аэрокосмической промышленности [1], сфере безопасности [2], вычислительной техники [3], биохимии и медицине [4]. Для определенных задач [5, 6] требуются наноэлектромеханические системы (НЭМС) с малой резонансной частотой наномеханическогорезонатора (НМР).В данной работе представлен метод изготовления низкочастотных НМР. Изготовленные структуры представляют собой подвешенные нанопровода из нитрида кремния,закрепленные с обоих концов. За основу взята пластина кремния, покрытая 200 нм слоем Si3N4. В верхнем слое Si3N4 формируются нанорезонаторы, с использованием электронной литографии, термического осаждения тонких плёнок металла, анизотропногореактивно-ионного и жидкостного травлений. Высота и ширина нанопроводов составляют 230 нм и 200 нм соответственно, а длина лежит в диапазоне от 500 мкм до 100мкм, что обеспечивает их низкие резонансные частоты.Согласно теории Эйлера-Бернулли, резонансные частоты основной моды изготовленных нанопроводов лежат в диапазоне 0,031МГц - 0,307 (при нормальных условиях).Ряд экспериментальных исследований с использованием НЭМС,необходимо проводить при низких температурах[5]. В связи с чем,разработана модель, описывающая колебания НМР при различныхтемпературах. Согласно полученной модели, резонансные частоты при650 ЛОМОНОСОВ–2023температуре 4К увеличиваются до значений 0,268 - 1,414. Такоерасхождение с теорией Эйлера-Бернулли обусловлено возрастаниемвнутреннего натяжения нанопровода возникающего в результатетермического сжатия материалов.Исследование выполнено при поддержке Междисциплинарной научнообразовательной школы Московского университета «Фотонные и квантовые технологии. Цифровая медицина». В работе использовалось оборудование Учебнометодического центра литографии и микроскопии МГУ им. М.В. Ломоносова.[1] Буханец Д.И. Нанотехнологии м наноматериалы в космической технике // Новыеисследования в разработке техники и технологий. 2014. №2[2] https://www.nature.com/articles/s41378-020-00213-2[3] https://www.nature.com/articles/s41467-021-22909-3[4] https://doi.org/10.1021/acsnano.1c08423[5] https://www.nature.com/articles/s41467-021-22909-3
- Добавил в систему: Снигирев Глеб Олегович