Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Работы ИПХФ РАН в области создания ПАВ-компонента безметального проявителя для фотолитографии
тезисы доклада
Авторы:
Бадамшина Э.Р.
,
Курбатов В.Г.
,
Тарасов А.Е.
,
Малков Г.В.
,
Пугачева Т.А.
,
Бадикова А.Г.
,
Варламов Д.А.
Сборник:
Российский форум «Микроэлектроника 2022» 8-я Научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули». Сборник тезисов
Тезисы
Год издания:
2022
Место издания:
ТЕХНОСФЕРА Москва
Первая страница:
602
Последняя страница:
603
Добавил в систему:
Бадикова Анастасия Геннадьевна