|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Fraunhofer diffraction on polygon and calculation of binary mask imagesстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 4 февраля 2014 г.
- Авторы: Belokopytov G.V., Ryzhikova Yu V.
- Журнал: Moscow University Physics Bulletin
- Том: 64
- Номер: 2
- Год издания: 2009
- Издательство: Allerton Press
- Местоположение издательства: New York, N.Y., United States
- Первая страница: 146
- Последняя страница: 148
- DOI: 10.3103/S0027134909020106
- Аннотация: A simple analytical formula for the spectrum of spatial harmonic components of a diffracted field is derived. It is used for construction of an effective algorithm of image calculation in photolithography.
- Добавил в систему: Рыжикова Юлия Владимировна