Аннотация:Методом спектроскопии поглощения рентгеновских лучей на K-крае Zn исследуется изменение структуры наночастиц Zn в матрице Si после облучения быстрыми ионами Хе. По данным XANES в образцах с разными флюенсами Хе цинк имеет сходное локальное окружение и находится в металлической фазе. По данным EXAFS интенсивный пик фурье-трансформант находится в диапазоне 2-3 Angstrem. После облучения Хе интенсивность этого пика снижается по сравнению с таковой в случае имплантированного образца, что указывает на очень сильное разупорядочение локальной структуры, характерное для наночастиц с размером менее 5 nm. Ключевые слова: кремний, имплантация Zn, облучение быстрыми тяжелыми ионами, наночастицы, XANES, EXAFS.