|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Создание структур из оксида на поверхности графитастатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
- Автор: Швец В.
- Журнал: Наноиндустрия
- Номер: 2
- Год издания: 2011
- Издательство: АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 36
- Последняя страница: 38
- Аннотация: Развитие современной электроники требует постоянного уменьшения размеров создаваемых структур, одним из перспективных способов получения которых являются методы литографии с помощью атомно-силового микроскопа. Эти методы включают механическое индентирование поверхности, в том числе термомеханическое, манипуляцию отдельными молекулами, различные воздействия с помощью электрического поля: анодное окисление, испарение с поверхности, химическое осаждение вещества, изменение зарядов, создание микровзрывов и ударных волн [1]. Из них одним из первых был реализован метод локального анодного окисления (ЛАО), который в настоящее время изучается наиболее интенсивно.
- Добавил в систему: Мешков Георгий Борисович