Аннотация:Представлен оптико-электронный прибор, работающий в сканирующем и триггерном режимах измерений, реализованный на базе интерферометра Майкельсона. Проанализирована поверхность сложной формы, где поперечное движение объекта при модуляции оптической длины объектного плеча интерферометра приводит к случайной модуляции интерференционного сигнала спекл-структурой отраженной объектной волны и к ошибке измерения. Предложен способ минимизации влияния спекл-модуляции интерференционного сигнала на результат измерений, заключающийся в увеличении числа независимых измерений за время одного прохода оптической измерительной головки с последующим их усреднением. Способ реализуется посредством введения дополнительной модуляции оптической разности хода. Приведены экспериментальные данные, позволяющие определить дискретность измерений и границу допустимой скорости движения контролируемого диффузно отражающего объекта при динамических измерениях.