Характеристики емкостного высокочастотного разряда в магнитном поле с преимущественной радиальной составляющейстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 20 июня 2024 г.