|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Импульсный ВЧ индуктивный разряд как эффективный рабочий процесс сеточного ВЧ источника ионовстатья
- Авторы: Задириев И.И., Кралькина Е.А., Вавилин К.В., Никонов А.М., Швыдкий Г.В.
- Журнал: Успехи прикладной физики
- Том: 11
- Номер: 3
- Год издания: 2023
- Первая страница: 213
- Последняя страница: 219
- DOI: 10.51368/2307-4469-2023-11-3-213-220
- Аннотация: Экспериментально рассмотрен импульсный ВЧ-разряд как рабочий процесс сеточного ВЧ ионного источника. Показано, что при работе на таком разряде может быть получен прирост ионного тока по сравнению с непрерывным режимом работы. Этот прирост тем больше, чем больше разница между характерным временем падения ионного тока после выключения ВЧ-мощности и временем нарастания ионного тока при включении ВЧ-мощности. Оценены параметры пульсаций, прикоторых достигается максимизация ионного тока. Показано, что внешнее постоянное продольное магнитное поле в диапазоне 0–7,2 мТ немонотонно влияет на максимальное и равновесное значение ионного тока в импульсе, при этом темпы падения ионного тока после выключения ВЧ-мощности не изменяются.
- Добавил в систему: Кралькина Елена Александровна