|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Thickness of the Modified Polymer Layer Formed by Low-Temperature Plasma Treatmentстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 15 февраля 2024 г.
- Авторы: Gilman A.B., Piskarev M.S., Kuznetsov Alexander A.
- Журнал: High Energy Chemistry
- Том: 57
- Номер: 5
- Год издания: 2023
- Издательство: Pleiades Publishing, Ltd
- Местоположение издательства: Road Town, United Kingdom
- Первая страница: 440
- Последняя страница: 443
- DOI: 10.1134/s001814392305003x
- Аннотация: Experimental data presented in the literature on the depth of processing of polymer films usinglow-temperature plasma are considered. Changes in the chemical composition and structure along the depthof the samples have been studied using the modern experimental techniques of X-ray photoelectron spectroscopy,secondary ion mass spectrometry, and transmission electron microscopy; precision etching was carriedout with an Ar+2500 cluster beam; and the pit depth was measured by profilometry. It has been found that thethickness of the modified layer is ≤50 nm and depends relatively little on the polymer nature.
- Добавил в систему: Пискарев Михаил Сергеевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | Акт экспертизы | Akt_ekspertizyi.pdf | 290,2 КБ | 26 октября 2023 [piskarevms] |
| 2. | Полный текст | Статья | 357549b2-66ce-4511-96d1-8e135dcefe8c.pdf | 201,2 КБ | 17 октября 2023 [piskarevms] |