A comparison of the lateral resolutions of optical and interference microscopesстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 27 марта 2014 г.
Аннотация:The lateral resolutions of optical and interference microscopes are compared. The idea of the lateral resolution of an interference microscope based on a measurement of a phase step is considered. Results of experiments and numerical modeling are presented.