|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
СОПРЯЖЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ДЕФЕКТООБРАЗОВАНИЯ ПРИ ВЫРАЩИВАНИИ И ТЕРМООБРАБОТКЕ БЕЗДИСЛОКАЦИОННОГО МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯстатья
- Авторы: Простомолотов А.И., Верезуб Н.А.
- Сборник: Материалы V международная конференция «Математическое моделирование в материаловедении электронных компонентов ММMЭК–2023». 23–25 октября 2023 г
- Год издания: 2023
- Место издания: LCC MAKS Press Москва
- Первая страница: 133
- Последняя страница: 136
- DOI: 10.29003/m3607.mmmsec-2023/133-136
- Аннотация: Рассматривается комплекс вопросов, связанных с оптимизацией процесса выращивания монокристаллов кремния методом Чохральского и процесса быстрой высокотемпературной обработки (БТО) вырезаемых пластин из этих монокристаллов. Для оптимизации температурного поля в выращиваемом монокристалле в тепловом узле монтируются специальные конструкции теплового экрана. Тепловая оптимизацияконструкции такого теплового узла осуществляется на основе интегрированной тепловой математической модели. Дефектообразование рассчитывается на основе диффузионно-рекомбинационного приближения длявакансий и межузельных атомов кремния. Для процесса БТО рассчитываются профили концентрации вакансий, плотности и размер вакансионных кластеров по толщине пластины.
- Добавил в систему: Верезуб Наталия Анатольевна
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | Pages133-136_from_icm3sec2023-2.pdf | 1,4 МБ | 30 октября 2023 [naverezub] |