|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Формирование Zn-содержащих кластеров в имплантированной пленке Si3N4/Siстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 июля 2024 г.
- Авторы: Терещенко А.Н., Привезенцев В.В., Фирсов А.А., Куликаускас В.С., Затекин В.В., Воронова М.И.
- Журнал: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
- Номер: 11
- Год издания: 2023
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 60
- Последняя страница: 66
- DOI: 10.31857/S1028096023110195
- Аннотация: Приводятся результаты синтеза и исследования Zn-содержащих кластеров на границе раздела пленки Si3N4/Si, имплантированной ионами 64Zn+ с дозой 5 × 1016 cм–2 и энергией 40 кэВ. Пленку Si3N4 предварительно наносили на кремниевую подложку газофазным методом. Затем имплантированные образцы размером 10 × 10 мм отжигали в окислительной атмосфере (на воздухе) с шагом 100°C в течение 1 ч на каждом шаге в диапазоне температур 400–800°C. Для исследования профилей цинка при отжигах использовали метод резерфордовского обратного рассеяния. Структуру и состав пленки изучали с помощью растровой электронной микроскопии в сочетании с энергодисперсионной спектроскопией, а также фотолюминесценцией. После имплантации вблизи поверхности пленки Si3N4 зафиксированы отдельные кластеры металлического цинка размером порядка 100 нм и менее. Установлено, что в процессе отжигов в образце происходит рост кластеров Zn и постепенное превращение фазы металлического Zn в фазы его оксида ZnO и далее, предположительно, силицида Zn2SiO4. После отжига при температуре 700°C, наиболее оптимальной для получения фазы ZnO, в пленке Si3N4 образуются кластеры оксида цинка размером около 100 нм. В спектре фотолюминесценции возникает пик на длине волны 370 нм, обусловленный экситонной люминесценцией в оксиде цинка. После отжига при 800°C происходит деградация фазы ZnO и, предположительно, образование фазы силицида цинка Zn2SiO4.
- Добавил в систему: Куликаускас Вацловас Станиславович