Nanometer-scale imaging and ablation with Extreme Ultraviolet lasersтезисы доклада
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 15 февраля 2024 г.
Авторы:
Menoni C.S. ,
Brizuela F. ,
Brewer C. ,
Bravo H. ,
Langdon B. ,
Berrill M. ,
Martz D. ,
Vaschenko G. ,
Marconi M.C. ,
Rocca J.J. ,
Chao W. ,
Anderson E.H. ,
Attwood D.T. ,
Vinogradov A.V. ,
Artioukov I.A. ,
Pershyn Y.P. ,
Kondratenko V.V. ,
Hemberg O. ,
Frazer B. ,
Bloom S.
Сборник:
2007 Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO)
Тезисы
Год издания:
2007
Место издания:
IEEE
Первая страница:
1
Последняя страница:
2
DOI:
10.1109/cleo.2007.4452703
Аннотация:
The short wavelength and high brightness of compact extreme ultraviolet lasers is shown to enable the development of microscopes with spatial resolution of tens of nanometers and new types of nanoprobes.
Добавил в систему:
Артюков Игорь Анатольевич