|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Исследование процессов деградации многослойных рентгеновских зеркал sc/si при нагреве и облучении лазером методами рентгеновской дифракции и электронной микроскопиистатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
- Авторы: Воронов Д.Л., Зубарев Е.Н., Першин Ю.П., Севрюкова В.А., Пеньков А.В., Кондратенко В.В., Виноградов А.В., Артюков И.А., Успенский Ю.А.
- Журнал: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
- Номер: 5
- Год издания: 2007
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 13
- Последняя страница: 20
- Аннотация: Структура и фазовый состав многослойных рентгеновских зеркал Sc/Si исследовались методами просвечивающей электронной микроскопии поперечных срезов, малоугловой рентгеновской дифракции, сканирующей электронной микроскопии, рентгеновского фазового анализа. Установлены закономерности деградации рентгеновских зеркал при термическом отжиге и под воздействием рентгеновского лазерного излучения. Показано, что процессы силицидообразования в многослойных зеркалах Sc/Si при термическом нагреве протекают в следующей последовательности: 1) реакция твердофазной аморфизации с образованием аморфного силицида скандия ScSi (100420°С); 2) образование аморфного силицида Sc3Si5; 3) кристаллизация силицида Sc3Si5 (430°С); 4) разрушение слоистой структуры зеркала (600°С). Обнаружено, что деградация зеркала под воздействием рентгеновского лазерного излучения носит качественно такой же характер, как и при термическом нагреве, структура слоев в зоне термического влияния соответствует различным стадиям термической деградации.
- Добавил в систему: Артюков Игорь Анатольевич