|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Влияние ионной бомбардировки на скорость травления и состав поверхности пленки рутения в кислородсодержащей плазметезисы доклада
- Авторы: Амиров И.И., Изюмов М.О., Алов Н.В., Шаранов П.Ю., Лопаев Д.В., Рахимова Т.В.
- Сборник: Труды XXVI международной конференции "Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП-2023)", Ярославль 21–25 августа 2023
- Том: 2
- Тезисы
- Год издания: 2023
- Издательство: НИЯУ МИФИ
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 147
- Последняя страница: 149
- Добавил в систему: Алов Николай Викторович