|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Спектроскопический рефрактометр-профилометр для измерения показателя преломления, дисперсии и толщины диэлектрических пленок методом возбуждения волноводных модстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Соколов В.И., Китай М.С., Мишаков Г.В., Молчанова С.И., Панченко В.Я., Семиногов В.Н., Хайдуков Е.В.
- Журнал: Перспективные материалы
- Номер: 14
- Год издания: 2013
- Издательство: Интерконтакт Наука
- Местоположение издательства: М.
- Первая страница: 267
- Последняя страница: 274
- Аннотация: Предложена конструкция спектроскопического рефрактометра-профилометра для измерения оптических параметров тонких диэлектрических пленок в УФ, видимой и ближней ИК областях спектра. Принцип действия прибора основан на резонансном возбуждении волноводных мод в пленке в геометрии нарушенного Полного Внутреннего Отражения (ПВО). Согласно этому методу исследуемая пленка приводится в оптический контакт с рабочей гранью измерительной призмы, имеющей высокий показатель преломления N p, и освещается со стороны призмы сходящимся монохроматическим световым пучком. Для лучей, падающих на границу призмы с пленкой под углами θm, для которых выполняется условие синхронизма N psin(θm) = βm, m = 0, 1, 2, …, где βm – эффективный показатель преломления моды с номером m, условие ПВО нарушается, и свет может проникать в пленку, возбуждая в ней соответствующую волноводную моду. При этом в угловой зависимости коэффициента зеркального отражения R(θ) луча от рабочей грани призмы наблюдаются резкие и узкие минимумы, т.н...
- Добавил в систему: Панченко Владислав Яковлевич