Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Разработка исследовательского CVD оборудования
тезисы доклада
Исследовательская статья
Авторы:
Гончаров О.Ю.
,
Балдаев Л.Х.
Сборник:
Труды 30-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием "ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА и ТЕХНОЛОГИИ"
Тезисы
Год издания:
2023
Место издания:
СПбГЭТУ «ЛЭТИ» Санкт-Петербург
Первая страница:
128
Последняя страница:
133
Аннотация:
Рассмотрено применение методик CVD и потребности в разработке исследовательского CVD-оборудования
Добавил в систему:
Гончаров Олег Юрьевич