|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Reactive pathways of hydrogen and carbon removal from organosilicate glass low-k films by F atomsстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 21 октября 2017 г.
- Авторы: Voronina E.N., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V.
- Журнал: European Physical Journal D
- Том: 71
- Номер: 7
- Год издания: 2017
- Издательство: Springer Verlag
- Местоположение издательства: Germany
- Первая страница: 184
- DOI: 10.1140/epjd/e2017-80136-4
- Добавил в систему: Воронина Екатерина Николаевна