Frequency Dependence of Parameters of an Inductive RF Discharge Placed in a Weak Magnetic Field

Nikonov, A.M.; Vavilin, K.V.; Zadiriev, I.I.; Dvinin, S.A.; Kral’kina, E.A.

Информация о цитировании статьи получена из Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 8 мая 2024 г.

Авторы: Nikonov A.M., Vavilin K.V., Zadiriev I.I., Dvinin S.A., Kral’kina E.A.
Журнал: Plasma Physics Reports
Том: 50
Номер: 1
Год издания: 2024
Издательство: Maik Nauka/Interperiodica Publishing
Местоположение издательства: Russian Federation
Первая страница: 77
Последняя страница: 88
DOI: 10.1134/S1063780X23601785
Аннотация: The properties of an inductive RF discharge placed in a longitudinal external magnetic field withan induction of less than 70 G at frequencies of 2, 4, and 13.56 MHz are studied. The dependences of theregion of existence of the discharge, the efficiency of the RF power input and the structure of the RF mag-netic field on the external magnetic field induction are studied experimentally. The experimental results arecompared with calculations based on a previously developed electromagnetic discharge model. It is shownthat the local maximum of the plasma density observed at weak magnetic fields is associated with the resonantexcitation of waves in the plasma source. The excited wave is close to a transverse helicon at a frequency of2 MHz, and its properties approach the Trivelpiece–Gould wave at a frequency of 13.56 MHz
Добавил в систему: Кралькина Елена Александровна

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ИСТИНА ИНХС РАН
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

ИСТИНА ИНХС РАН

Frequency Dependence of Parameters of an Inductive RF Discharge Placed in a Weak Magnetic Fieldстатья

Прикрепленные файлы