Аннотация:Представлены результаты исследования электрофизических характеристик структур металл - туннельный диэлектрик - полупроводник. В качестве диэлектрика использовались фториды диспрозия, церия, неодима. Определены параметры границы раздела, такие как энергетическое распределение плотности поверхностных состояний, значение поверхностного потенциала. Исследованы особенности процессов токопрохождения в данных структурах.