Аннотация:Представлены результаты исследования эффекта электрического переключения проводимости с памятью в слоистых структурах на основе пленочных фторидов РЗЭ. Методами вольт-амперных и вольтъемкостных измерений определены особенности высокоомного и низкоомного состояний структуры металл-диэлектрик-полупроводник. Показано, что характеристики низкоомного состояния рассматриваемой структуры описываются моделью структуры металл-туннельный диэлектрик-полупроводник.