Формирование гелиевых пузырей в приповерхностных слоях кремния плазменно-иммерсионной ионной имплантациейстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.