|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Химическое газофазное осаждение Ta и TaC с помощью восстановления галогенидов кадмиемтезисы доклада
- Авторы: Гончаров О.Ю., Трещов С.Ю., Сапегина И.В., Файзуллин Р.Р., Балдаев Л.Х.
- Сборник: Кузнецовские чтения-2022
- Серия: Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
- Тезисы
- Год издания: 2022
- Место издания: СО РАН, Институт неорганической химии им А.В. Николаева
- Первая страница: 65
- Последняя страница: 65
- Аннотация: 11-13 июля 2022
- Добавил в систему: Гончаров Олег Юрьевич