|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Theoretical Study of Dual Frequency RF and RF/DC Plasma Dischargesстатья
- Авторы: Shishkin A.G., Stepanov S.V.
- Сборник: Proceedings of XXXI International Conference on Phenomena in Ionized Gases
- Том: 1
- Год издания: 2013
- Место издания: Granada
- Первая страница: 1
- Последняя страница: 4
- Добавил в систему: Шишкин Алексей Геннадиевич