|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Computer simulation of sputtering of (111) face of crystalline Si thin filmстатья
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 мая 2015 г.
- Авторы: Eltekov V.A., Yurasova V.E., Negrebetskaya N.N., Vasichkina N.G.
- Журнал: Surface Investigation X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques
- Номер: 2
- Год издания: 1994
- Первая страница: 46
- Последняя страница: 54
- Добавил в систему: Эльтеков Виталий Анатольевич